干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的景深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。
现货尼康干涉测量镜头，欢迎选购！！！
| 标题 | 放大率 | NA | 景深(μm) | Field Number (mm) | Horizontal FOV, 1/2" Sensor | Horizontal FOV, 2/3" Sensor | FL (mm) | 型号 |
| Nikon，CF， IC EPI Plan TI相干测量物镜，2.5X | 2.5X | 0.075 | 48.60 | 22 | 2.56mm | 3.52mm | 80.00 | MUL42031 |
| NIKON CF IC EPI PLAN TI 5X | 5X | 0.13 | 16.20 | 25 | 1.28mm | 1.76mm | 40.00 | MUL42051 |
| 10xNikon，CF， IC EPI Plan TI相干测量物镜， | 10X | 0.30 | 3.04 | 25 | 0.64mm | 0.88mm | 20.00 | MUL40101 |
| 20xNikon，CF， IC EPI Plan TI相干测量物镜， | 20X | 0.40 | 1.71 | 25 | 0.32mm | 0.44mm | 10.00 | MUL40201 |
| 50xNikon，CF， IC EPI Plan TI相干测量物镜， | 50X | 0.55 | 0.90 | 25 | 0.13mm | 0.18mm | 4.00 | MUL40501 |
| 100x尼康 CF IC Epi Plan 干涉测量物镜 | 100X | 0.70 | 0.56 | 25 | 0.08mm | 0.011mm | 2.00 | MUL40900 |
